銅ダマシン自動分析装置
製品名	概要
リアルタイムアナライザー （ＲＴＡ）	オンライン全自動硫酸銅めっき液分析装置。CVSに代わる次世代電気化学分析装置として銅ダマシン用銅めっき液の分析装置として大量に採用されています。　プローブをめっき液に直接浸すだけでサープレッサ、アクセレレータ、レベラー、硫酸、金属銅、塩素等の5-6成分の濃度を約20分で自動分析します。 通常、2時間に2回程度分析し、めっき液の状態を連続的にモニターすることでめっき液の安定稼働を可能にします。また、分析時に電気化学的なデータが蓄積されるため、問題発生時の原因解析の大きなツールになります。めっき液を希釈したり、試薬を添加する必要がないため、極めて簡単なシステムで自動分析が可能です。
EBA	RTAと同等の分析能力を有するオフライン半自動銅めっき液分析装置です。希釈や試薬添加、試料の廃棄などマニュアルで行う必要がありますが、分析性能はRTAと変わりません。
ケロベラス	ＲＴＡと同じハードを使用しためっき浴の分析機器。めっき液の状態を交流直流のボルタモグラムで捉え、それをマハラノビクスディスタンスを応用して統計的に処理・数値化するものです。コンタミや添加剤の入れ間違い、分解生成物の蓄積による影響等を敏感に検知し、不良発生を未然に防ことを可能にします。また、ブリードアンドフィード実施の目安を提供します。銅ダマシンに対応が限定されている（開発中の技術）。